2026-10-12T17:03:54Z https://www.scidb.cn/oai

10.57760/sciencedb.36163 2026-01-30T16:08:29Z

2026-01-30 Xe-LPP EUV source doi:10.57760/sciencedb.36163 en 本数据集涉及所开发的Xe-LPP EUV光源的强度、等离子体尺寸、稳定性。调节的参数包括气体背压，激光时间延迟以及喷嘴的移动距离。所展示的数据可能存在误差，原因是手动调节减压阀带来的背压误差以及实验的随机性。 EUV强度; 气压; 等离子体图像 姚奕弛 EMBARGO https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ dataset http://www.doi.org/10.1063/5.0325940 Science Data Bank